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電子行業(yè)超純水設(shè)備介紹

2020-01-04  來自: 衡水市衡美水處理設(shè)備有限公司 瀏覽次數(shù):1130

如何進(jìn)行水處理?

衡美水處理為您介紹一種性能優(yōu)良水處理設(shè)備——電子行業(yè)超純水設(shè)備。

超純水設(shè)備

電子行業(yè)超純水設(shè)備是一款半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的純水、高純水、超純水清洗半成品、成品。

一、概述

集成電路的集成度越高,線寬越窄,對(duì)水質(zhì)的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級(jí)水質(zhì)技術(shù)分為五個(gè)行業(yè)等級(jí),分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qū)分不同水質(zhì)。

二、工藝簡介

電子、半導(dǎo)體、液晶顯示、光伏工業(yè)生產(chǎn)在制作過程中,往往需要使用極其純凈的超純水。如果純水水質(zhì)達(dá)不到生產(chǎn)工藝用水的要求或者水質(zhì)不穩(wěn)定的話,會(huì)影響到后續(xù)工藝的處理效果和使用壽命。在光伏行業(yè)電子管生產(chǎn)中,如其中混入雜質(zhì),就會(huì)影響電子的發(fā)射,進(jìn)而影響電子管的放大性能及壽命,在顯像管和陰極射線管生產(chǎn)中,其熒光屏內(nèi)壁用噴涂法或沉淀法附著一層熒光物質(zhì),如其配制純水中含銅在8ppb以上,就會(huì)引起發(fā)光變色;含鐵在50ppb以上就會(huì)使發(fā)光變色、變暗、閃動(dòng)并會(huì)造成氣泡、條跡、漏光點(diǎn)等廢次品。

三、工藝流程

1、采用離子交換方式,其流程如下:自來水→電動(dòng)閥→多介質(zhì)過濾器活性炭過濾器軟化水器→中間水箱→低壓泵→精密過濾器→陽樹脂床→陰樹脂床→陰陽樹脂混合床→微孔過濾器→用水點(diǎn)

2、采用兩級(jí)反滲透方式,其流程如下:自來水→電動(dòng)閥→多介質(zhì)過濾器活性炭過濾器→軟化水器→中間水箱→低壓泵→精密過濾器→一級(jí)反滲透主機(jī)→PH調(diào)節(jié)→混合器→二級(jí)反滲透主機(jī)(反滲透膜表面帶正電荷)→純水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點(diǎn)

3、采用***反滲透加EDI方式,其流程如下(工藝***高):自來水→電動(dòng)閥→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟化水器→中間水箱→低壓泵→PH值調(diào)節(jié)系統(tǒng)→***混合器→精密過濾器→***反滲透→中間水箱→EDI水泵→EDI系統(tǒng)→微孔過濾器→用水點(diǎn)

四、三種工藝比較

制備電子工業(yè)超純水的工藝基本上是以上三種,其余的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎(chǔ)上進(jìn)行不同組合搭配衍生而來?,F(xiàn)將他們的優(yōu)缺點(diǎn)分別列于下面:

采用傳統(tǒng)的離子交換樹脂其優(yōu)點(diǎn)在于初次投資少,占用的地方少,但缺點(diǎn)就是需要經(jīng)常進(jìn)行離子再生,耗費(fèi)大量酸堿,而且對(duì)環(huán)境有破壞。

第二種采用反滲透+離子交換設(shè)備,其特點(diǎn)為初次投資比采用離子交換樹脂方式要稍高,但離子再生周期相對(duì)要長,耗費(fèi)的酸堿比單純采用離子樹脂的方式要少很多。是比較經(jīng)濟(jì)與流行的一種工藝。

第三種采用反滲透作預(yù)處理再配上電去離子裝置,這是目前制取超純水兼具***與環(huán)保的工藝,不需要用酸堿進(jìn)行再生便可連續(xù)制取超純水,對(duì)環(huán)境沒什么破壞性。其缺點(diǎn)在于初次投資相對(duì)以上兩種方式過于昂貴。

五、設(shè)備特點(diǎn)

電子工業(yè)超純水設(shè)備通常由多介質(zhì)過濾器,活性碳過濾器,鈉離子軟化器、精密過濾器等構(gòu)成預(yù)處理系統(tǒng)、RO反滲透主機(jī)系統(tǒng)、離子交換混床(EDI電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等構(gòu)成主要設(shè)備系統(tǒng)。原水箱、中間水箱、RO純水水箱、超純水水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、高低壓水泵均設(shè)有高低壓壓力保護(hù)裝置、在線水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無人值守,同時(shí)在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法,使該設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較,具有更高的***和設(shè)備可靠性。

六、電路板用設(shè)備

1、主要應(yīng)用

A、大規(guī)模集成電路元器件的生產(chǎn)用水,一般電阻率均大于18MO-CM。按***有關(guān)用水標(biāo)準(zhǔn)(GB/T11446.1-1997)執(zhí)行。

B、電子元件廠,在焊接和組裝過程中的沖洗用水。依據(jù)電子元件生產(chǎn)工藝不同,其用水標(biāo)準(zhǔn)中(即GB/T11446.1-1997)有可為四級(jí)(一級(jí)電導(dǎo)率18MO-CM以上,二級(jí)電阻率不低于15MO-CM,3級(jí)電阻率12MO-CM, 4級(jí)為0.5MO-CM)。

2、技術(shù)特征

A、制取電子級(jí)超純水

B、可連續(xù)自動(dòng)生產(chǎn),不必停機(jī)再生

C、出水水質(zhì)優(yōu)于常規(guī)離子交換法

D、不需酸堿再生,不污染環(huán)境

E、運(yùn)行成本低,占地面積小

七、應(yīng)用領(lǐng)域

1、半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水;

2、超純材料和超純化學(xué)試劑勾兌用超純水;

3、實(shí)驗(yàn)室和中試車間用超純水;

4、汽車、家電表面拋光處理;

5、光電子產(chǎn)品;

6、其他高科技精微產(chǎn)品。

八、進(jìn)水指標(biāo)

1、通常為單級(jí)反滲透或二級(jí)反滲透的滲透水。

2、TEA(總可交換陰離子,以CaCO3計(jì)):<25ppm。

3、電導(dǎo)率:<40μS/cm。

4、PH:6.0~9.0。當(dāng)總硬度低于0.1ppm時(shí),EDI工作的pH范圍為8.0~9.0。

5、溫度: 5~35℃。

6、進(jìn)水壓力:<4bar(60psi)。

7、硬度:(以CaCO3計(jì)):<1.0ppm。

8、有機(jī)物( TOC):<0.5ppm。

9、氧化劑:Cl2<0.05ppm,O3<0.02ppm。

10、變價(jià)金屬: Fe<0.01ppm,Mn<0.02ppm。

11、H2S:<0.01ppm。

12、二氧化硅:<0.5ppm。

13、色度:<5APHA。

14、二氧化碳的總量:<10ppm

15、SDI 15min:<1.0。

衡美水處理專注水處理設(shè)備生產(chǎn)研發(fā)十五年,為您量身定制水處理解決方案!

 

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